 枚葉式スパッタ装置 HSM-542LSP（島津エミット製）
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 量子効率測定装置（多接合対応型）（分光計器）
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 ポータブルレーザーラマン分光光度計 RMP-510（日本分光）
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 シリコン太陽電池表面観察装置 VK-X200 （キーエンス）
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 マスクアライメントシステム （ミカサ）
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 プラズマCVD装置 （エイコーエンジニアリング）
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 ZnO製膜用MOCVD装置 （エイコーエンジニアリング）
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 分光エリプソメトリ （J.A.Woollam）
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 プラズマCVD装置 PD-2203L （サムコ）
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 電界放出形操作電子顕微鏡システム（日立ハイテクノロジーズ）
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 キャリアライフタイム測定装置 WCT-120 with Suns-Voc
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